אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנשאַפֿט, גאַסאַז טאָן אַלע די אַרבעט און לייזערז באַקומען אַלע ופמערקזאַמקייט. בשעת לייזערז טאָן עטש טראַנזיסטאָר פּאַטערנז אין סיליציום, די עטטש אַז ערשטער דיפּאַזאַץ די סיליציום און ברייקס אַראָפּ די לאַזער צו מאַכן אַ גאַנץ סעריע פון גאַסאַז. עס איז ניט חידוש אַז די גאַסאַז, וואָס זענען געניצט צו אַנטוויקלען מייקראָופּראַסערז דורך אַ מולטי-בינע פּראָצעס איז הויך ריינקייַט. אין אַדישאַן צו דעם באַגרענעצונג, פילע פון זיי האָבן אנדערע קאַנסערנז און לימיטיישאַנז. עטלעכע פון די גאַסאַז זענען קריאָגעניק, אנדערע זענען קעראָוסיוו, און נאָך אנדערע זענען זייער טאַקסיק.
אַלע אין אַלע, די לימיטיישאַנז מאַכן מאַנופאַקטורינג גאַז פאַרשפּרייטונג סיסטעמען פֿאַר די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע אַ היפּש אַרויסרופן. די מאַטעריאַלס ספּעסאַפאַקיישאַנז זענען פאדערן. אין דערצו צו מאַטעריאַלס, אַ גאַז פאַרשפּרייטונג מענגע איז אַ קאָמפּלעקס ילעקטראָומאַכיקאַל מענגע פון ינטערקאַנעקטיד סיסטעמען. די ינווייראַנמאַנץ אין וואָס זיי זענען פארזאמלט זענען קאָמפּלעקס און אָוווערלאַפּינג. לעצט פאַבריקיישאַן איז פארגעקומען אויף פּלאַץ ווי אַ טייל פון די ינסטאַלירונג פּראָצעס. אָרבאַטאַל וועלדינג העלפּס צו טרעפן די הייך פון די הויך ספּעסיפיקיישאַן גאַז צו מאַכן פאַבריקיישאַן אין ענג און טשאַלאַנדזשינג ינווייראַנמאַנץ.
ווי גאַסאַז זענען געניצט אין דעם סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע
איידער איר פּרווון צו פּלאַן די פּראָדוצירן פון די גאַז פאַרשפּרייטונג סיסטעם, עס איז נייטיק צו פֿאַרשטיין אין מינדסטער די באַסיקס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג. אין זיין האַרץ, סעמיקאַנדאַקטעריישאַן נוצן גאַסאַז צו אַוועקלייגן לעבן-עלאַמענאַל סאָלידס אויף אַ ייבערפלאַך אין אַ הויך קאַנטראָולד שטייגער. די דיפּאַזאַטאַד סאָלידס זענען דערנאָך מאַדאַפייד דורך ינטראָודוסינג נאָך גאַסאַז, לייזערז, כעמיש עטשאַנץ און היץ. די טרעפ אין די ברייט פּראָצעס זענען:
דעפּאַזישאַן: דאָס איז דער פּראָצעס פון קריייטינג די ערשט סיליקאָן ווייפער. ביליקס פּרעפּאַסטאָר גאַסאַז זענען פּאַמפּט אין אַ וואַקוום דעפּאַזישאַן קאַמער און פאָרעם דין סיליציום ווייפערז דורך כעמיש אָדער גשמיות ינטעראַקשאַנז.
פאָטאָליטהאָגראַפי: די פאָטאָ אָפּטיילונג רעפערס צו לייזערז. אין די העכער עקסטרעם אַלטראַווייאַליט ליטאַגראַפי (EUV) ספּעקטרום געניצט צו מאַכן די העכסטן באַשרייַבונג טשיפּס, אַ טשאַד דייאַקסייד לאַזער איז געניצט צו עטש די מייער.
עטשינג: בעשאַס די עטשינג פּראָצעס, האַלאָגען-טשאַד גאַז איז פּאַמפּט אין די קאַמער צו אַקטאַווייט און אַנטהאַלטן און צעלאָזן און צעלאָזן און צעלאָזן אויסגעקליבן מאַטעריאַלס אין די סיליקאָן סאַבסטרייט. דער פּראָצעס יפעקטיוולי ינגרייווז די לאַזער-געדרוקט סערטיפיקאַטיאָן אַנטו די סאַבסטרייט.
דאָפּינג: דאָס איז אַן נאָך שריט וואָס ענדערונגען די קאַנדאַקטיוואַטי פון די עטשט ייבערפלאַך צו באַשטימען די פּינטלעך טנאָים אונטער וואָס די סעמיקאַנדאַקטער קאַנדאַקץ.
אַנילינג: אין דעם פּראָצעס, ריאַקשאַנז צווישן ווייפער לייַערס זענען טריגערד דורך עלעוואַטעד דרוק און טעמפּעראַטור. יסענשאַלי, עס פינאַליזעס די רעזולטאַטן פון די פריערדיקע פּראָצעס און קריייץ די פיינאַלייזד פּראַסעסער אין די ווייפער.
קאַמער און ליניע רייניקונג: די גאַסאַז געניצט אין די פריערדיקע סטעפּס, ספּעציעל עטשינג און דאָפּינג, זענען אָפט העכסט טאַקסיק און ריאַקשאַן. דעריבער, דער פּראָצעס קאַמער און די גאַז שורות פידינג, עס דאַרף זיין אָנגעפילט מיט נוטראַלייזינג גאַסאַז צו רעדוצירן אָדער עלימינירן שעדלעך ריאַקשאַנז, און דאַן אָנגעפילט מיט ינערט גאַסאַז צו פאַרמייַדן די ינטרוזשאַן פון קיין קאַנטאַמאַנייטינג גאַסאַז פון די אַרויס סוויווע.
גאַז פאַרשפּרייטונג סיסטעמען אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע זענען אָפט קאָמפּלעקס ווייַל פון די פילע פאַרשידענע גאַסאַז ינוואַלווד און די ענג קאָנטראָל פון גאַז לויפן, טעמפּעראַטור און דרוק וואָס מוזן זיין מיינטיינד איבער צייַט. דאָס איז ווייַטער קאָמפּליצירט דורך די הינטער-הויך ריינקייַט פארלאנגט פֿאַר יעדער גאַז אין דעם פּראָצעס. די גאַסאַז געניצט אין דעם פריערדיקן שריט מוזן זיין פלאַשט אויס פון די שורות און טשיימבערס אָדער אַנדערש נוטראַלייזד איידער דער ווייַטער שריט פון דעם פּראָצעס קענען אָנהייבן. דעם מיטל אַז עס זענען אַ גרויס נומער פון ספּעשאַלייזד שורות, ינטערפייסיז צווישן וועלדעד רער סיסטעמען און כאָוזיז, ינטערפייסיז צווישן כאַוזיז צווישן כאָוזיז און סענסאָרס און סענסאָרס, ווי געזונט ווי ינטערפייסיז צווישן די נאַטירלעך גאַז צושטעלן פון זייַענדיק סוואַפּט אויס.
אין אַדישאַן, קלאַוועררען יקסטיריער און ספּעציאַליטעט גאַסאַז וועט זיין יקוויפּט מיט פאַרנעם גאַז צושטעלן סיסטעמען אין קלעווער ינווייראַנמאַנץ און ספּעשאַלייזד קאַנפיינד געביטן צו פאַרמינערן קיין כאַזערדז אין פאַל פון אַקסאַדענטאַל ליקאַדזש. וועלדינג די גאַז סיסטעמען אין אַזאַ אַ קאָמפּלעקס סוויווע איז קיין גרינג אַרבעט. אָבער, מיט זאָרגן, ופמערקזאַמקייט צו דעטאַל און די רעכט ויסריכט, דעם אַרבעט קענען זיין אַטשיווד הצלחה.
מאַנופאַקטורינג גאַז פאַרשפּרייטונג סיסטעמען אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע
מאַטעריאַלס געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער גאַז פאַרשפּרייטונג סיסטעמען זענען העכסט בייַטעוודיק. זיי קענען אַרייַננעמען טינגז ווי פּטפע-ליינד מעטאַל פּייפּס און כאָוזיז צו אַנטקעגנשטעלנ זיך זייער קעראָוסיוו גאַסאַז. די מערסט פּראָסט מאַטעריאַל געניצט פֿאַר גענעראַל ציל פּייפּינג אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע איז 316 ל ומבאַפלעקט שטאָל - אַ נידעריק-טשאַד ומבאַפלעקט שטאָל וואַריאַנט. ווען עס קומט צו 316 אָ ווערסאַס 316, 316 ל איז מער קעגנשטעליק צו ינטערגראַנולאַר קעראָוזשאַן. דאָס איז אַ וויכטיק באַטראַכטונג ווען דילינג מיט אַ קייט פון העכסט ריאַקטיוו און פּאַטענטשאַלי וואַלאַטאַל גאַסאַז וואָס קענען קעראָוד טשאַד. וועלדינג 316 ל ומבאַפלעקט שטאָל ריליסיז ווייניקער טשאַד פּרעסיפּיטאַטעס. עס אויך ראַדוסאַז די פּאָטענציעל פֿאַר קערל גרענעץ יראָוזשאַן, וואָס קענען פירן צו פּאַסן קעראָוזשאַן אין די וועלדז און היץ אַפעקטאַד זאָנעס.
צו רעדוצירן די מעגלעכקייט פון פּייפּינג קעראַקטעריסיאָן לידינג צו פּראָדוקט ליניע קעראָוזשאַן און קאַנטאַמאַניישאַן און קאַנטאַמאַניישאַן, 316 ל ומבאַפלעקט שטאָל וועלדעד מיט ריין אַרגאָן שילד רומז איז די סטאַנדאַרטעד וועלד ריילז איז די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. דער בלויז וועלדינג פּראָצעס וואָס גיט די קאָנטראָל דארף צו טייַנען אַ הויך ריינקייַט סוויווע אין פּראָצעס פּייפּינג. אָטאַמייטיד אָרבאַטאַל וועלדינג גיט בלויז די ריפּיטאַבאַל פּראָצעס קאָנטראָל דארף צו פאַרענדיקן די וועלד אין די פאַבריקאַנט פון סעמיקאַנדאַקטער גאַז פאַרשפּרייטונג סיסטעמען. דער פאַקט אַז ענקלאָוזד אָרבאַטאַל וועלד קעפ קענען אַקאַמאַדייט די ענג און שווער ספּייסאַז פֿאַר קאָמפּלעקס ינטערסעקשאַנז צווישן פּראָצעס איז אַ באַטייטיק מייַלע פון דעם פּראָצעס.
שענזשען וואָאָפעי טעכנאָלאָגיע קאָו, לטד, מיט איבער 10 יאָר דערפאַרונג אין ינדאַסטריאַל און ספּעציאַליטעט גאַסץ, מאַטעריאַלס, מאַטעריאַלס, מאַטעריאַלס, און גאַז צושטעלן סיסטעמען און גאַז צושטעלן סיסטעמען און גאַז, לקד-לקד מארקפלעצער. מיר קענען ניט בלויז צושטעלן אַ ברייט קייט פון וואַלווז און פיטינגז פֿאַר האַלב-קאַנדאַקאַנט עלעקטראָניש ספּעציאַליטעט גאַסאַז, אָבער אויך פֿאַר קאַמיפּינג און ויסריכט פֿאַר אונדזער קאַסטאַמערז.
פּאָסטן צייט: יולי -11-2023