הויך-ריינקייט גאַז פּייפּינג טעכנאָלאָגיע איז אַ וויכטיק טייל פון הויך-ריינקייַט גאַז צושטעלן סיסטעם, וואָס איז דער שליסל טעכנאָלאָגיע צו צושטעלן די פארלאנגט הויך-ריינקייַט גאַז צו די פונט פון נוצן און נאָך טייַנען די קוואַלאַפייד קוואַליטעט;הויך-ריינקייט גאַז פּייפּינג טעכנאָלאָגיע כולל די ריכטיק פּלאַן פון די סיסטעם, די סעלעקציע פון פיטינגז און אַקסעסעריז, קאַנסטראַקשאַן און ינסטאַלירונג און טעסטינג.אין די לעצטע יאָרן, די ינקריסינגלי שטרענג רעקווירעמענץ פֿאַר די ריינקייַט און טומע אינהאַלט פון הויך-ריינקייַט גאַסאַז אין דער פּראָדוקציע פון מיקראָעלעקטראָניק פּראָדוקטן רעפּריזענטיד דורך גרויס-וואָג ינאַגרייטיד סערקאַץ האָבן געמאכט די פּייפּינג טעכנאָלאָגיע פון הויך-ריינקייַט גאַסאַז ינקריסינגלי זארגן און אונטערגעשטראכן.די פאלגענדע איז אַ קורץ איבערבליק פון הויך-ריינקייַט גאַז פּייפּינג פון מאַטעריאַל סעלעקציעof קאַנסטראַקשאַן, ווי געזונט ווי אַקסעפּטאַנס און טעגלעך פאַרוואַלטונג.
טייפּס פון פּראָסט גאַסאַז
קלאַסאַפאַקיישאַן פון פּראָסט גאַסאַז אין די עלעקטראָניק אינדוסטריע:
פּראָסט גאַסאַז(פאַרנעם גאַז): הידראָגען (ה2)ניטראָגען (נ2), זויערשטאָף (אָ2), אַרגאָן (א2), וכו'.
ספּעציעלע גאַסאַזזענען סיה4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,הקל,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, בקל3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,העף,HBR SF6…… עטק.
די טייפּס פון ספּעציעל גאַסאַז קענען בכלל זיין קלאַסאַפייד ווי קעראָוסיווגאַז, טאַקסיקגאַז, ברענעוודיקגאַז, ברענעוודיקגאַז, ינערטגאַז, אאז"ו ו די קאַמאַנלי געניצט סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז זענען בכלל קלאַסאַפייד ווי גייט.
(איך) קעראָוסיוו / טאַקסיקגאַז: הקל, בף3, WF6,הבר , סיה2Cl2, נה3, פ3, קל2, בקל3… עטק.
(ii) פלאַממאַביליטיגאַז: ה2, טש4, סיה4, פ3,אש 3 , סיה2Cl2, ב2H6, CH2F2,CH3F, CO ... עטק.
(iii) קאַמבאַסטאַביליטיגאַז: אָ2, קל2, נ2אָ, נף3… עטק.
(יוו) ינערטגאַז: נ2, קף4, סי2F6, סי4F8,SF6, CO2, ניי, קר, ער ... עטק.
פילע סעמיקאַנדאַקטער גאַסאַז זענען שעדלעך צו דעם מענטש גוף.אין באַזונדער, עטלעכע פון די גאַסאַז, אַזאַ ווי סיה4 ספּאַנטייניאַס קאַמבאַסטשאַן, ווי לאַנג ווי אַ רינען וועט רעאַגירן ווייאַלאַנטלי מיט די זויערשטאָף אין די לופט און אָנהייבן צו ברענען;און אש3העכסט טאַקסיק, קיין קליין ליקאַדזש קען פאַרשאַפן די ריזיקירן פון מענטשלעך לעבן, דאָס איז ווייַל פון די קלאָר ווי דער טאָג דיינדזשערז, אַזוי די באדערפענישן פֿאַר די זיכערקייַט פון די סיסטעם פּלאַן זענען דער הויפּט הויך.
אַפּפּליקאַטיאָן פאַרנעם פון גאַסאַז
ווי אַ וויכטיק יקערדיק רוי מאַטעריאַל פון מאָדערן אינדוסטריע, גאַז פּראָדוקטן זענען וויידלי געניצט, און אַ גרויס נומער פון פּראָסט גאַסאַז אָדער ספּעציעל גאַסאַז זענען געניצט אין מעטאַלערדזשי, שטאָל, נאַפט, כעמישער אינדוסטריע, מאַשינערי, עלעקטראָניק, גלאז, סעראַמיקס, בנין מאַטעריאַלס, קאַנסטראַקשאַן. , עסנוואַרג פּראַסעסינג, מעדיצין און מעדיציניש סעקטאָרס.די אַפּלאַקיישאַן פון גאַז האט אַ וויכטיק פּראַל אויף די הויך טעכנאָלאָגיע פון די פעלדער אין באַזונדער, און איז זייַן ינדיספּענסאַבאַל רוי מאַטעריאַל גאַז אָדער פּראָצעס גאַז.בלויז מיט די באדערפענישן און העכערונג פון פאַרשידן נייַ ינדאַסטרי סעקטאָרס און מאָדערן וויסנשאַפֿט און טעכנאָלאָגיע, די גאַז אינדוסטריע פּראָדוקטן קענען זיין דעוועלאָפּעד דורך ליפּס און גווול אין טערמינען פון פאַרשיידנקייַט, קוואַליטעט און קוואַנטיטי.
גאַז אַפּלאַקיישאַן אין מיקראָעלעקטראָניקס און סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע
די נוצן פון גאַז האט שטענדיק געשפילט אַ וויכטיק ראָלע אין די סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס, ספּעציעל די סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס איז וויידלי געניצט אין פאַרשידן ינדאַסטריז, פֿון די טראדיציאנעלן ULSI, TFT-LCD צו די קראַנט מיקראָ-עלעקטראָ-מעטשאַניקאַל (מעמס) אינדוסטריע, אַלע וואָס נוצן די אַזוי גערופענע סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס ווי די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון פּראָדוקטן.די ריינקייַט פון די גאַז האט אַ באַשטימענדיק פּראַל אויף די פאָרשטעלונג פון קאַמפּאָונאַנץ און פּראָדוקט ייעלדס, און די זיכערקייַט פון די גאַז צושטעלן איז שייַכות צו דער געזונט פון פּערסאַנעל און די זיכערקייַט פון פאַבריק אַפּעריישאַנז.
די באַטייַט פון הויך-ריינקייַט פּייפּינג אין הויך-ריינקייַט גאַז אַריבערפירן
אין דעם פּראָצעס פון מעלטינג און מאכן פון ומבאַפלעקט שטאָל מאַטעריאַל, וועגן 200 ג גאַז קענען זיין אַבזאָרבד פּער טאָן.נאָך די פּראַסעסינג פון ומבאַפלעקט שטאָל, ניט בלויז זייַן ייבערפלאַך קלעפּיק מיט פאַרשידן קאַנטאַמאַנאַנץ, אָבער אויך אין זייַן מעטאַל לאַטאַס אויך אַבזאָרבד אַ זיכער סומע פון גאַז.ווען עס איז לופט לויפן דורך די רערנ - ליניע, די מעטאַל אַבזאָרבז דעם טייל פון די גאַז וועט ווידער אַרייַן די לופט לויפן, פאַרפּעסטיקונג די ריין גאַז.ווען די לופט לויפן אין די רער איז דיסקאַנטיניואַס לויפן, די רער אַדסאָרבז די גאַז אונטער דרוק, און ווען די לופט לויפן סטאַפּס פאָרן, די גאַז אַסאָרבעד דורך די רער פארמען אַ דרוק קאַפּ צו האַלטן, און די ריזאַלווד גאַז אויך גייט אריין די ריין גאַז אין די רער. ווי טומאות.אין דער זעלביקער צייַט, די אַדסאָרפּטיאָן און האַכלאָטע ריפּיטיד, אַזוי אַז די מעטאַל אויף די ינער ייבערפלאַך פון די רער אויך פּראָדוצירן אַ זיכער סומע פון פּודער, און די מעטאַל שטויב פּאַרטיקאַלז אויך באַשמוצן די ריין גאַז ין די רער.דעם כאַראַקטעריסטיש פון די רער איז יקערדיק צו ענשור די ריינקייַט פון די טראַנספּאָרטאַד גאַז, וואָס ריקווייערז ניט בלויז אַ זייער הויך סמודנאַס פון די ינער ייבערפלאַך פון די רער, אָבער אויך אַ הויך טראָגן קעגנשטעל.
ווען די גאַז מיט שטאַרק קעראָוסיוו פאָרשטעלונג איז געניצט, קעראָוזשאַן-קעגנשטעליק ומבאַפלעקט שטאָל פּייפּס מוזן זיין געניצט פֿאַר פּייפּינג.אַנדערש, די רער וועט פּראָדוצירן קעראָוזשאַן ספּאַץ אויף די ינער ייבערפלאַך רעכט צו קעראָוזשאַן, און אין ערנסט קאַסעס, עס וועט זיין אַ גרויס שטח פון מעטאַל סטריפּינג אָדער אפילו פּערפעריישאַן, וואָס וועט קאַנטאַמאַנייט די ריין גאַז צו זיין פונאנדערגעטיילט.
די פֿאַרבינדונג פון הויך-ריין און הויך-ריין גאַז טראַנסמיסיע און פאַרשפּרייטונג פּייפּליינז פון גרויס לויפן רייץ.
אין פּרינציפּ, אַלע פון זיי זענען וועלדעד, און די טובז געניצט זענען פארלאנגט צו האָבן קיין ענדערונג אין אָרגאַניזאַציע ווען וועלדינג איז געווענדט.מאַטעריאַלס מיט אַ צו הויך טשאַד אינהאַלט זענען אונטערטעניק צו די לופט לעדוירעס פון די וועלדעד פּאַרץ ווען וועלדינג, וואָס מאכט די קעגנצייַטיק דורכדרונג פון גאַסאַז ין און אַרויס די רער און דיסטרויז די ריינקייַט, דריינאַס און ריינקייַט פון די טראַנסמיטטעד גאַז, ריזאַלטינג אין די אָנווער פון גאַז. אַלע אונדזער השתדלות.
אין קיצער, פֿאַר הויך-ריינקייט גאַז און ספּעציעל גאַז טראַנסמיסיע רערנ - ליניע, עס איז נייטיק צו נוצן אַ ספּעציעל באַהאַנדלונג פון הויך-ריינקייַט ומבאַפלעקט שטאָל רער, צו מאַכן הויך-ריינקייַט רערנ - ליניע סיסטעם (אַרייַנגערעכנט פּייפּס, פיטינגז, וואַלווז, VMB, VMP) אין הויך-ריינקייַט גאַז פאַרשפּרייטונג אַקיאַפּייז אַ וויטאַל מיסיע.
אַלגעמיינע באַגריף פון ריין טעכנאָלאָגיע פֿאַר טראַנסמיסיע און פאַרשפּרייטונג פּייפּליינז
העכסט ריין און ריין גאַז גוף טראַנסמיסיע מיט פּייפּינג מיטל אַז עס זענען זיכער רעקווירעמענץ אָדער קאָנטראָלס פֿאַר דריי אַספּעקץ פון די גאַז צו זיין טראַנספּאָרטאַד.
גאַז ריינקייַט: דער אינהאַלט פון טומע אַטמאָספער אין די גגאַס ריינקייַט: דער אינהאַלט פון טומע אַטמאָספער אין די גאַז, יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט ווי אַ פּראָצענט פון גאַז ריינקייַט, אַזאַ ווי 99.9999%, אויך אויסגעדריקט ווי די באַנד פאַרהעלטעניש פון טומע אַטמאָספער אינהאַלט פּפּם, פּפּב, ppt.
דריינאַס: די סומע פון שפּור נעץ אין די גאַז, אָדער די סומע גערופן נאַס, יוזשאַוואַלי אויסגעדריקט אין טערמינען פון טוי פונט, אַזאַ ווי אַטמאַספעריק דרוק טוי פונט -70.ג.
ריינקייַט: די נומער פון קאַנטאַמאַנאַנט פּאַרטיקאַלז קאַנטיינד אין די גאַז, פּאַרטאַקאַל גרייס פון µm, ווי פילע פּאַרטיקאַלז / מ 3 צו אויסדריקן, פֿאַר קאַמפּרעסט לופט, יוזשאַוואַלי אויך אויסגעדריקט אין טערמינען פון ווי פילע מג / מ 3 פון אַנאַוווידאַבאַל האַרט רעזאַדוז, וואָס קאָווערס די ייל אינהאַלט .
פּאַלוטאַנט גרייס קלאַסאַפאַקיישאַן: פּאַלוטאַנט פּאַרטיקאַלז, דער הויפּט רעפערס צו רערנ - ליניע סקאָורינג, טראָגן, קעראָוזשאַן דזשענערייטאַד דורך מעטאַל פּאַרטיקאַלז, אַטמאַספעריק סוט פּאַרטיקאַלז, ווי געזונט ווי מייקראָואָרגאַניזאַמז, פאַגעס און נעץ-מיט גאַז קאַנדאַנסיישאַן דראַפּלאַץ, אאז"ו ו, לויט די גרייס פון זייַן פּאַרטאַקאַל גרייס. איז צעטיילט אין
אַ) גרויס פּאַרטיקאַלז - פּאַרטאַקאַל גרייס העכער 5μם
ב) פּאַרטאַקאַל - מאַטעריאַל דיאַמעטער צווישן 0.1μם-5μם
c) הינטער-מיקראָ פּאַרטיקאַלז - פּאַרטאַקאַל גרייס ווייניקער ווי 0.1μם.
אין סדר צו פאַרבעסערן די אַפּלאַקיישאַן פון דעם טעכנאָלאָגיע, צו קענען צו פּערסעפּטואַל פארשטאנד פון פּאַרטאַקאַל גרייס און μם וניץ, אַ סכום פון ספּעציפיש פּאַרטאַקאַל סטאַטוס איז צוגעשטעלט פֿאַר רעפֿערענץ
די פאלגענדע איז אַ פאַרגלייַך פון ספּעציפיש פּאַרטיקאַלז
| נאָמען / פּאַרטיקעל גרייס (μm) | נאָמען / פּאַרטיקעל גרייס (μm) | נאָמען / פּאַרטאַקאַל גרייס (μm) |
| ווירוס 0.003-0.0 | אַעראָסאָל 0.03-1 | אַעראָסאָליזעד מיקראָדראָפּלעט 1-12 |
| יאָדער ברענוואַרג 0.01-0.1 | פּיינט 0.1-6 | פליען אַש 1-200 |
| טשאַד שוואַרץ 0.01-0.3 | מילך פּודער 0.1-10 | פּעסטאַסייד 5-10 |
| סמאָלע 0.01-1 | באַקטיריאַ 0.3-30 | צעמענט שטויב 5-100 |
| פּאַפּיראָס רויך 0.01-1 | זאַמד שטויב 0.5-5 | שטויב 10-15 |
| סיליקאָנע 0.02-0.1 | פּעסטאַסייד 0.5-10 | מענטש האָר 50-120 |
| קריסטאַלייזד זאַלץ 0.03-0.5 | קאַנסאַנטרייטאַד שוועבל שטויב 1-11 | ים זאַמד 100-1200 |
פּאָסטן צייט: יוני 14-2022