די נוצן פון גאַסאַז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע דאַטעס צוריק צו דער פרי 1950 ס צו 1960 ס. בעשאַס די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, גאַסעס זענען דער הויפּט געניצט צו ריין און באַשיצן סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס צו ענשור זייער ריינקייַט און קוואַליטעט. צווישן די מערסט אָפט געניצט גאַסאַז זענען ניטראָגען און הידראָגען.
ווי סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע דעוועלאָפּעד און מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז פאָרזעצן צו פֿאַרבעסערן, די פאָדערונג פֿאַר גאַסאַז געוואקסן. אין 1970, ווייַטער אַנטוויקלונג פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג טעכנאָלאָגיע, די אַפּלאַקיישאַן פון גאַסאַז אין שליסל פּראַסעסאַז אַזאַ ווי עטשינג און דעפּאַזישאַן פון דין פילמס ביסלעכווייַז געוואקסן (למשל ספ 6) און זויערשטאָף גאַסאַז. 1980 געזען אַ ווייַטער פאַרגרעסערן אין די פאָדערונג פֿאַר גאַסאַז מיט דער אַנטוויקלונג פון ינאַגרייטיד סערקאַץ און די פאַרגרעסערן אין פאָדערונג פֿאַר זיי. הידראָגען איז געווען וויידלי געניצט אין דער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, אַרייַנגערעכנט הידראָגען אַנילינג און הידראָגען פארע דעפּאַזישאַן. און 1990 צו די פאָרשטעלן, די פאָדערונג פֿאַר הויך ריינקייַט גאַסאַז און ספּעציפיש גאַסאַז איז געוואקסן ווי סעמיקאַנדאַקטער מיטל סיזעס האָבן געצויגן צו ייַנשרומפּן און נייַ פּראַסעסאַז זענען באַקענענ. פֿאַר בייַשפּיל, די אַפּלאַקיישאַן פון עקסטרעם אַלטראַווייאַליט ליטאַגראַפי (EUV) ריקווייערז די נוצן פון גאָר הויך ריינקייַט גאַסאַז אַזאַ ווי ניטראָגען און הידראָגען.
סעמיקאַנדאַקטעריס גאַז האלט צו פאַרגרעסערן מיט די אַנטוויקלונג פון פֿאַרבונדענע פּראָדוקטן געטריבן דורך מער און מער פּראָדוקטן זענען גילוי, בשעת די גאַז זענען גילוי, בשעת די גאַז זענען גילוי, כאָטש די מקור פון געפאַר, אַזוי די פּראָדוקטן געניצט פֿאַר גאַז וואַלווז, גאַז דיטעקשאַן פּראָדוקטן האָבן ימערדזשד דיטעקטער, עטק, און זייער ראָלעס זענען ווי פעלדז.
דרוק רעגיאַלייטערז: דרוק רעגיאַלייטערז זענען דעוויסעס געניצט צו קאָנטראָלירן גאַז דרוק. זיי יוזשאַוואַלי צונויפשטעלנ זיך פון אַ רעגולאַטאָר וואַלוו און אַ דרוק סענסער. דרוק רעגיאַלייטערז נעמען אַ הויך דרוק גאַז אַרייַנשרייַב און סטייבאַלייז די דרוק פון די פּראָדוקציע גאַז דורך אַדזשאַסטינג די וואַלוו צו טרעפן ספּעציעלע אַפּלאַקיישאַן באדערפענישן. דרוק רעגיאַלייטערז זענען וויידלי געניצט אין געביטן אַזאַ ווי אינדוסטריע, מאַנופאַקטורינג און לאַבאָראַטאָריעס, ווי געזונט ווי אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, צווישן אנדערע, צו ענשור די פעסטקייַט און זיכערקייַט און זיכערקייַט פון די גאַז צושטעלן.
גאַז וואַלווז: גאַז וואַלווז זענען געניצט צו קאָנטראָלירן די לויפן פון גאַסאַז און צו פאַרמאַכן גאַז פּאַסידזשיז. זיי יוזשאַוואַלי האָבן אַן אויף / אַוועק פונקציע וואָס אָפּענס אָדער קלאָוזיז די גאַז לויפן. עס זענען פאַרשידן טייפּס פון גאַז וואַלווז, אַרייַנגערעכנט מאַנואַל וואַלווז, עלעקטריש וואַלווז און פּנעוומאַטיש וואַלווז. זיי זענען וויידלי געניצט אין גאַז סיסטעמען צו קאָנטראָלירן די לויפן, דרוק און לויפן און לויפן און לויפן פון גאַסאַז.
גאַז דרוק גאַוגאַז: גאַז דרוק גיידזשיז זענען געניצט צו מעסטן די דרוק פון אַ גאַז. זיי זענען יוזשאַוואַלי אינסטאַלירן אין קריטיש לאָוקיישאַנז אין גאַז סיסטעמען צו מאָניטאָר דרוק ענדערונגען און ענשור אַז זיי זענען אין זיכער לימאַץ. גאַז דרוק גאָוגעס זענען וויידלי געניצט אין אינדוסטריע, מאַנופאַקטורינג און לאַבאָראַטאָריעס, און די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע איז אויך ינוואַלווד.
גאַז רינען דעטעקטאָרס: גאַז רינען דעטעקטאָרס זענען געניצט צו דיטעקט ליקס אין גאַז סיסטעמען. זיי דעטעקטדי בייַזייַן פון גאַז ליקס און געזונט אַ שרעק אַז די בייַצייַטיק קאַמף קענען זיין גענומען צו פאַרמייַדן ליקאַדזש אַקסאַדאַנץ. גאַז רינען דעטעקטאָרס זענען וויידלי געניצט אין ינדאַסטריאַל, כעמישער, בוימל און גאַז אַפּלאַקיישאַנז, און די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע איז אויך ינוואַלווד.
פּאָסטן צייט: פעברואר 20-2024